WCT-120PLは、WCT-120にフォトルミネッセンス（PL）検出器の機能を追加したものでありPLライフタイムとドーピングを測定します。
準定常状態光コンダクタンス（QSSPC法）法と過渡光コンダクタンス減衰（PCD）法の両方が、校正されたPLライフタイム測定によって補完されます。WCT-120PLは、標準のWCT-120としても使用できます。
- PL測定と同時にQSSPCまたはPCDを測定し製造プロセスのモニタリングと最適化
- ウェーハ製造プロセスにおける段階的なモニタリングと最適化
- 初期の材料品質のモニタリング
- プロセス中の重金属のコンタミネーションの検出
- 表面パッシベーションと放射ドーパント拡散の評価
- 暗電流I-V測定によるプロセス起因のシャントの評価
- QSSPLおよびQSSPCデータから基材ドーピングを反復計算
