BLS-I / BCT-400　バルクシリコン特性評価 ＜Super Bulk Silicon Characterization＞

BLS-I / BCT-400のライフタイム測定は、成長とコンタミネーションを特徴付ける最も感度の高い手法の1つであり、成長直後のシリコン品質を評価できます。
すべての表面（直径150mm以上の曲面と平面を柔軟に測定するにはBLS-Iを平面のみを測定する場合はBCT-400を選択してください。
-1～10ミリ秒以上の範囲のライフタイムを有する高純度シリコンのQualifying
-特別な表面処理なしで、成長したままの適格なB-CzシリコンのQualifying
-多結晶ブロックの寿命とトラップ密度の特性評価
-B-O欠陥、Fe汚染、および表面損傷の検出
-Cz、FZ、多結晶、またはUMGシリコンの初期材料品質のモニタリング