膜厚計とは、塗膜やフィルムなどの定規で測定できないとても薄い膜の厚さを測る測定器です。膜厚は用途によっては厚過ぎても薄すぎてもいけないため、「適正な厚さに仕上がっているか？」を確認する必要があります。ThetaMetrisisの膜厚測定器は、「反射率分光法」を用いて測定します。取扱いが簡単で、非接触での高精度かつスピーディな測定が可能です。
| 1998年4月～2019年3月 | Filmetrics社（フィルメトリクス）主にF20, F40, F50シリーズなどの販売、修理、検査、テクニカルサポート |
| 2019年5月～現在 | ThetaMetrisis社（シータメトリシス）販売、修理、検査、テクニカルサポート |
定規で測定できないような非常に薄い膜の厚さを測定します。
膜厚測定だけでなく分光反射率/分光透過率測定といった分光器としても活用できます。
反射率分光法は測定対象物に光を垂直に入射させ反射した光を分光測定します。反射率分光法の比較対象とされる分光エリプソメーターと比較し、スキルを必要とせず、取り扱いが簡単でスピーディーに測定ができます。測定結果は日本語ソフトで閲覧可能です。
反射率分光法では下記のような事例は測定できないため、他の測定手法で測定します。
| 事例 | 他の手法(測定原理) |
| 膜厚が5nm（ナノメートル）以下 | AFM、SEMでの断面観察、エリプソメータ |
| 膜が光を通さない | 段差計、干渉計、レーザ顕微鏡、渦電流式、蛍光X線 |
| 測定箇所が粗すぎる | 段差計、レーザ顕微鏡、渦電流式（ブラスト処理、ヘアラインなど） |
Si3N4 とSiO2の2層同時膜厚測定(Si基板)
例：Cauchyモデル
両端と中心3か所同時膜厚モニタリング
両端と中心の3か所
例)フィルムへの成膜Roll to Rollプロセス
1つで幅方向に可動
光学式非接触 膜厚計の主要製品についてご紹介しています。ソフトウェア機能や活用シーンに合わせたアプリケーション例など、お客様のご参考になるポイントが入っていますので、ぜひご活用ください。
国家標準へのトレーサブルのとれた膜厚標準器で検査ができます。検査後は下記書類をご提供致します。
レスターは、さまざまなメーカー様への膜厚測定器の導入実績があり、ご好評をいただいております。
フィルムの量産工程でインライン膜厚モニターを導入。年間数万トンもの原材料を管理でき材料ロスが解消した。
フィルムの製造工程において幅方向の膜厚ムラをリアルタイムで測定でき、取引先の全数検査の要求に応えられた。
微細パターニングした極小箇所のレジストの膜厚測定ができ、材料開発の改善に繋げられた。
レスターは標準器による検査サービスがあるので安心してこの膜厚計を運用できる。
数多い膜厚計メーカーの中でとにかく安かった。
他社で断られた測定が難しい内容でも、治具提案をいただき量産工程で測定できるようになった。
レスターは、これまで蓄積された豊富な実績とノウハウを活かし、お客様に最適な測定器をご提案いたします。まずはお気軽にご相談ください。
